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    文章導讀:當射頻大氣壓輝光放電的間隙縮小到微等離子體的尺度內,即為一毫米左右,甚至幾百微米的量級,射頻微等離子體又會出現哪一些新的特點呢?接下來秋葵视频黄色网站下载秋葵视频IOS在线免费观看機與大家共同探討。
    當射頻大氣壓輝光放電的間隙縮小到微等離子體的尺度內,即為一毫米左右,甚至幾百微米的量級,射頻微等離子體又會出現哪一些新的特點呢?接下來秋葵视频黄色网站下载秋葵视频IOS在线免费观看機與大家共同探討。如下圖所示,是在相同的電流下,射頻微等離子體鞘層區與等離子體區的分布比例。在給定電流密度0.06A/cm2,當放電間隙逐步提升,實驗與計算均反映鞘層開始逐步提升,而當極板間隙提升大於500μm後,鞘層厚度基本上保持在215μm保持不變。而對於等離子體區的厚度,其從100μm到900μm一直在單調提升。
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    根據上圖秋葵视频黄色网站下载得知,當秋葵视频IOS在线免费观看機放電間隙小於500μm時,放電等離子體由傳統化的輝光放電結構轉換為1種鞘層主導的結構,即鞘層成為放電空間的主要部分。同時,數值模擬還反映,在鞘層主導的放電結構中,整個放電空間喪失了電中性,表現為電正性,如下圖所示。
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    假如想在射頻微等離子體中繼續得到正常的輝光結構,確保放電間隙內的電中性,提升放電頻率是1種行得通的方法。下圖給出了在不同頻率下兩個周期電子密度的時空分布。圖中顯示,當頻率為13.56MHz時,隻有在電極附近才有大量的電子,其密度近似3.06×1011cm-3。
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    而當頻率提升到27.12MHz時,產生的3.15×1011cm-3的電子密度在極板間伴隨外加電壓的改變反複振蕩,從1個極板到另1個極板,基本上占據了整個間隙。伴隨頻率進一步提升到54.24MHz,在放電間隙產生的高密度電子,形成1個穩定的中性等離子體區。這些數據反映,伴隨頻率的提升,放電結構發生改變,傳統化的輝光結構能夠出現。

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