射頻放電微等離子體的結構上有哪些特點？秋葵视频黄色网站下载秋葵视频IOS在线免费观看機介紹
文章導讀：秋葵视频黄色网站下载秋葵视频IOS在线免费观看機在之前文章已經對射頻大氣壓輝光放電有所介紹，那麼，要是在射頻放電中，將放電的間隙進一步縮小到微等離子體尺度內，即為1mm左右，乃至到了幾百微米的量級，射頻微等離子體又會產生哪些新的特點呢？
如下圖所示，是在同樣的電流條件下，射頻微等離子體鞘層區與等離子體區的分布比例。在給定電流密度0.06A/cm2，當放電間隙慢慢增加，通過實驗和計算都表明鞘層開始慢慢增加，而當極板間隙增加多於500μm後，鞘層厚度基本保持在215μm不變。而對於等離子體區的厚度，其從100μm到900μm一直在單一性提升，秋葵视频黄色网站下载秋葵视频IOS在线免费观看機介紹。
通過上圖能夠知道的是，當放電間隙小於500μm時，放電等離子體由傳統的輝光放電結構轉化為一種鞘層主導的結構，即鞘層成為放電空間的主要部分。同時，數值模擬還顯示，在鞘層主導的放電結構中，一整個放電空間無法保持電中性，而是呈現為電正性，如下圖所示。
要是想在射頻微等離子中繼續獲得正常的輝光結構，保障放電間隙內的電中性，提高放電頻率是一種可行的方法。下圖給出了在不同頻率下兩個周期電子密度的時空分布。圖中顯示，當頻率為13.56MHz時，僅僅在電極附近才有大量的電子，其密度近似3.06×1011cm-3。
而當頻率增加到27.12MHz時，產生的3.15×1011cm-3的電子密度在極板間由於外加電壓的改變來回振蕩，從一個極板到另一個極板，基本占據了一整個間隙。由於頻率進一步增加到54.24MHz，在放電間隙產生的高密度電子，形成一個穩定的中性等離子體區。這些數據表明，由於頻率的提升，放電結構也發生了變化，傳統的輝光結構也能夠產生。
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