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    返回列表 來源:秋葵视频黄色网站下载 瀏覽: 發布日期:2018-10-29 16:44【
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    1、真空腔體:帶有各種結構的放電電極,使得反應氣體激發生成等離子體,形成不同狀態、不同特性和密度的等離子體
     

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    2、等離子發生器:含電源和匹配器,提供反應氣體放電能量來源,維持等離子體放電狀態;有不同的頻率區分。
     

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    3、真空泵:抽取真空,保持真空度,抽走未電離的工藝氣體和反應副產物;包括單級泵和泵組。
     

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    4、真空計:監測真空腔體的真空度。


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    5、流量計:測量反應氣體的流量。

     

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    6、反應氣體:各種工藝氣體,如Ar、H2、N2、O2、CF4等,根據需要使用單一氣體或者兩種以上的混合氣體。

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    7、電氣控製:含軟件,保證設備運行、監測、數據采集和工藝參數設定等。


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