半導體封裝所用秋葵视频IOS在线免费观看設備是由這些組成
文章導讀：在昨天的文章中，秋葵视频黄色网站下载向大家介紹了秋葵视频IOS在线免费观看設備在半導體封裝領域內的基礎技術原理，通過了解，您是否也覺得等離子處理係統在半導體封裝領域內是不可或缺的呢？那麽一台完整的秋葵视频IOS在线免费观看設備或者說秋葵视频IOS在线免费观看機，是什麽樣的？又由哪些部分組成的呢？
行業內通常按等離子體發生機製，將等離子處理係統分為常壓大氣秋葵视频IOS在线免费观看設備和低壓真空秋葵视频IOS在线免费观看設備兩種，而半導體封裝領域內所用的等離子處理設備則屬於後一種。那麽一台完整的秋葵视频IOS在线免费观看設備或者說秋葵视频IOS在线免费观看機，是什麽樣的？又由哪些部分組成的呢？其實，半導體封裝所用秋葵视频IOS在线免费观看設備主要是由真空腔體、等離子發生器、真空泵、真空計、流量計、反應氣體和電氣控製、各配件這幾部分構成。其中包含了等離子發生係統、排氣係統、溫控係統等八個主要控製係統。
1、真空腔體
真空秋葵视频IOS在线免费观看設備的真空腔體，即像進行整個反應過程的“容器”，可放置不同電極結構的放電電極，產生不同狀態、特性和密度的等離子體。
2、等離子發生器
等離子發生器主要由電源和匹配器組成，用於提供反應氣體放電的能量來源，維持秋葵视频IOS在线免费观看機的放電狀態，其發生頻率有區分。
3、真空泵
真空泵主要用於抽取真空和保證腔體維持一定的真空度，並且能夠將未電離的氣體和反應副產物抽出。根據實際處理的需要，可搭配單級泵或泵組。
4、真空計
真空等離子處理係統的真空計主要用於監測真空腔體的真空度。
5、流量計
等離子處理設備的流量計主要用於測量反應氣體的流量。
6、反應氣體
不同的反應氣體電離之後會產生不同特性的等離子體，常用的工藝氣體有Ar、H2、N2、O2、CF4等，根據處理需要可使用單一氣體或者兩種以上混合氣體。
7、電氣控製
真空等離子處理設備的電氣控製主要包含軟件，為保證設備正常運行、監測、數據采集和工藝參數設定等。
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