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    半導體封裝行業用到的秋葵视频IOS在线免费观看設備有哪些種類?

    返回列表 來源:秋葵视频黄色网站下载 瀏覽: 發布日期:2018-11-14 10:36【
    文章導讀:半導體封裝行業由於其特殊性,比之於常規的電子產品對等離子設備的等離子均勻性、Particle數量、UPH等指標要求更高,一般要求在低壓(真空)狀態下進行秋葵视频IOS在线免费观看。
    半導體封裝行業用到的秋葵视频IOS在线免费观看設備一般可按如下方式分類:

    1、按秋葵视频IOS在线免费观看設備的運行方式:分為獨立式秋葵视频IOS在线免费观看設備和在線式秋葵视频IOS在线免费观看設備
    (1)獨立式(又叫離線式、單體式、批量式等)秋葵视频IOS在线免费观看設備主要結構包括:真空腔體(包含電極;又叫反應腔、反應倉、反應室等)、設備外殼、電氣控製係統、氣路係統、等離子發生器(包括電源和匹配器)和真空係統。

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    2)在線式(又叫連續式、不間斷式等)秋葵视频IOS在线免费观看設備主要結構包括:上下料推送機構、上下料放置平台、上下料提升係統、上下料傳輸係統、上下料撥料機構、真空腔體、設備主體框架、電氣控製係統、氣路係統、等離子發生器(包括電源和匹配器)和真空係統。
     

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    在線式秋葵视频IOS在线免费观看設備是在獨立式的基礎上,為滿足對表麵處理均勻性、一致性品質要求更高,以提高自動化程度,減少人工參與等需要設計而成。

     

    2、按等離子產生的激勵方式分為:電容耦合(CCP)、感應耦合(ICP)和電子回旋共振(ECR)等

     

    3、按等離子發生器的工作頻率來分:中頻(又叫低頻、超聲40〜100KHz),高頻(又叫射頻13.56MHz),微波(2.45GHz)

     

    發頻率與等離子自偏壓的關係
     



     

    激發頻率與等離子密度的關係
     

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    不同頻率激發的等離子體特性和能量是不一樣的,對於側重物理清洗的產品,用中頻秋葵视频IOS在线免费观看設備比較合適;側重化學清洗的產品,采用微波秋葵视频IOS在线免费观看設備;化學物理反應兼顧的,建議使用射頻秋葵视频IOS在线免费观看設備。當然,等離子激發頻率隻是等離子產生的核心因素之一,秋葵视频IOS在线免费观看設備的電極結構、工藝氣體、真空度、處理時間等等,同樣是影響清洗效果的關鍵。

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